[簡介]自動化光學檢測 (AOI)

自動化光學檢測 (Automated optical inspection, AOI)

簡介 : 自動化光學檢測是一種透過整合光學以及系統分析軟體工具的一套檢測方法。可以應用在例如產品缺陷的自動檢測，像是 IC產業中的IC封裝缺陷的自動檢測。

補充資料
中文 -Wiki - 自動光學檢查
英文 -Wiki - Automated optical inspection

商業價值 : 工業自動化、醫療檢測、安全監控、食品檢測 與 指紋比對等

關鍵字 : Automated optical inspection (AOI)、automated X-ray inspection (AXI)、automated visual inspection (AVI)

相關技術 : IC/晶粒/PCB/SMT 檢測、幾何尺寸量測、光學性質量測、系統設計

技術關鍵 - 光學知識、影像處理與電腦視覺演算法開發、系統整合、防震(震動學)、校正知識

光學知識 - 奈米光學檢測技術與應用 課程。

奈米光學檢測技術與應用 涵蓋

奈米光學檢測基礎
(干涉原理、繞射原理、光源與偵測器等)

奈米光學檢測技術
(影像式顯微技術、干涉技術、繞射式顯微技術)

奈米檢測技術應用
(先進半導體製程線上檢測)

軟體分析 - 影像處理與電腦視覺演算法開發 - 影像處理 機器視覺 課程

影像處理基本架構 - 數位影像處理簡介課程pdf -台大 林達德教授

系統整合 

震動學

校正知識

關於CCD 與 機台垂直度的校正方法與工具

軟體工具 : 商用軟體 - MATLAB 、開源軟體 - OpenCV

技術文件網站 : http://www.vtek.tw/


AOI大廠 -  Orbotech (Israel)、Camtek (Israel)、Omron (Japan)、KohYoung Technology (South Korea)、德律 TRI  (Taiwan)、由田新技 Utechzone (Taiwan)

參考書籍 - 奈米光學檢測技術與應用 課程參考書籍

1. Gasvik, Kjell J, “ Optical Metrology ”, John Wiley Sons Ltd, 2002
2. Pranod K. Rastorgi, “Optical Measurement Techniques and Applications”, Artech House, Inc., 1997
3. Alain C. Diebold, “ Handbook of Silicon Semiconductor Metrology”, Marcel Dekker, Inc., 2001
4. Ghanim A. Al-Jumaily, “ Optical metrology”, SPIE optical engineering press, 1999
5. 蘇青森教授,  “儀器學”, 五南出版社2002
6. 國科會精密儀器中心, "光機電系統整合概論", 2005